Ebpay

    塔式存储设备
    Tower Stocker用于半导体晶圆厂洁净室内物料的跨楼层存储和传送。
    Ebpay科技研发的跨楼存储设备顺利获得主机升降取放进行跨楼层传送，升降速度可达3.5 m/s，实现洁净传送。

    可选配置：人工口/天车口数量
    软件描述
    MSSC存储控制系统
    MeetFuture Smart Storage Controller
    给予对无尘室存储库的智能化管理功能，顺利获得HSMS标准协议接收来自客户上位系统如MCS下发的搬运指令控制自动存取机械手实现光罩盒的存取动作。

    应用场景 : 存储设备的控制与库存查询

    功能亮点:
    ▪ Ebpay智能存储控制系统采用的智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑缩短光罩盒的存取搬运时间提高存储库出入库频次和利用效率。
    重要参数
    技术指标参数
    尺寸1800mm(W) x 1800mm(L)
    传动方式Y/R/A 减速机+皮带
    重复点位精度±0.5mm

    噪音

    ≤75db

    震动≤0.5G
    洁净等级Class:100


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