Ebpay

    光罩盒存储设备
    Reticle Cabinet是带充气功能的光罩盒储存设备，用于批量存储集成电路生产用的光罩盒，顺利获得充入纯净气体，保证光罩品质。
    EbpayReticle Cabinet在国内首次实现了在极小流量情况下极短时间内使光罩盒湿度下降到RH10%以下。
    功能亮点：

    亲和人机界面

    稳定系统集成

    抽屉式设计大容量存储

    高速持续净化

    兼容多种EAP通信

    软件描述
    光罩盒存储柜软件系统
    Reticle Cabinet Software
    实时反馈当前货位的货物信息、充气时间、充气阶段，并进行流量监控与报警。

    功能亮点:
    ▪ 支持触屏控制。
    ▪ 支持客户参数动态配置。
    ▪ 支持与EAP 和MF FabScope 系统对接。
    重要参数
    技术指标参数

    尺寸（长*宽*高）

    2217mm*1058mm*1913mm

    重量（满载 空载）

    630kg&460kg

    Self （位置数量）

    		84个

    存储POD类型

    SMIF POD RSP3 RSP1

    RFID读取率

    ≥99.999%

    电源

    220V，50Hz，2A


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